Всё правильно "не получается красиво", но это потому что без умения делаем....
Есть же всякие хитрости на этот счёт: реверсный ток, У.звук, ЭМ излучение, пов.активные вещества (в основном я из-за них здесь вопрос поднял))
Кто-нить пробовал ПАВ использовать? Может какие-то пассиваторы боковой стенки?
а какой Вы зазор делали? и на какой площади травления?