Травление и полировка карбида кремния

[Ilkham]

Есть проблема - надо химически удалять слой 15-20 мкм у монокристаллических пластинок карбида кремния.

Просьба дать совет

[Dengi75]

на чём этот слой?

[aversun]

Можно попробовать плавиковую кислоту, на некоторые модификации SiC она действует, а вообще, травлением при высокой температуре в смеси хлор + кислород

 

http://referating.com/item_33855.html

[mrf_htmi]

мы в институте (ИТМО НАН Беларуси) применяем для таких целей магнитореологическое полирование

http://izobretatel.by/node/184

ниже ссылка на полирование кремниевой пластины 300 мм данным методом в США

http://www.aspe.net/...OPTFAB/2235.PDF

Изменено 13 Марта, 2014 в 13:36 пользователем mrf_htmi