Перейти к содержимому
Форум химиков на XuMuK.ru
  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу

Ilkham

Травление и полировка карбида кремния

Рекомендуемые сообщения

Можно попробовать плавиковую кислоту, на некоторые модификации SiC она действует, а вообще, травлением при высокой температуре в смеси хлор + кислород

 

http://referating.com/item_33855.html

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

мы в институте (ИТМО НАН Беларуси) применяем для таких целей магнитореологическое полирование

http://izobretatel.by/node/184

ниже ссылка на полирование кремниевой пластины 300 мм данным методом в США

http://www.aspe.net/...OPTFAB/2235.PDF

Изменено пользователем mrf_htmi

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Создайте аккаунт или войдите в него для комментирования

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать аккаунт

Зарегистрируйтесь для получения аккаунта. Это просто!

Зарегистрировать аккаунт

Войти

Уже зарегистрированы? Войдите здесь.

Войти сейчас

×