Перейти к публикации
Форум химиков на XuMuK.ru
TTM

Кислородный геттерный насос

Рекомендованные сообщения

Для того, чтобы распылять Al, очень глубокий вакуум не потребуется - порядка 10 Па будет достаточно.

 

По моим расчётам, даже если нагревать до 1000 °С, давление паров алюминия будет порядка 1 Па. Так что если напылять при 10 Па, то система будет неравновесная (температура пара алюминия сильно больше температуры обрабатываемой поверхности.) Получится ли в этом случае качественный слой? Или, может, в этом и смысл, чтобы кристаллы не нарастали?

 

С цинком всё должно быть проще, у него при 500 °С давление уже больше 150 паскаль, а при 600 он должен закипать уже под водоструйником.

 

 

 

А галогенным переносом нельзя ли алюминий напылять?

Изменено пользователем Desmod

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

А что если сначало вытеснить воздух водяным паром,а закрыв загерметезировав емкость поглотить пар оксидом фосфора или даже натрия? Будет ли вакуум?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

И алюминий, и цинк взаимодействуют с гидроксидами (и кислыми - фосфора, и щелочными - натрия) с выделением водорода.

 

Upd: частично разобрался в своём вопросе. Пылят не из газовой фазы, а фактически туманом расплавленного металла (по крайней мере, один из способов), так что особо низкого давления, действительно, не надо. Так что, думаю, если заполнить камеру кислородом (процентов 95-97 чистоты), откачать водоструем и дожечь испарённым алюминием, может и получиться. Вопрос только - как убрать дым окиси алюминия.

 

Может, проще заполнять азотом такой же чистоты и откачивать хотя бы до 10-2 торр? Китайские двухступенчатые насосы на такое давление, вроде, не особо дорогие.

Изменено пользователем Desmod

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Присоединяйтесь к обсуждению

Вы можете опубликовать сообщение сейчас, а зарегистрироваться позже. Если у вас есть аккаунт, войдите в него для написания от своего имени.
Примечание: вашему сообщению потребуется утверждение модератора, прежде чем оно станет доступным.

Гость
Ответить в тему...

×   Вставлено в виде отформатированного текста.   Вставить в виде обычного текста

  Разрешено не более 75 эмодзи.

×   Ваша ссылка была автоматически встроена.   Отобразить как ссылку

×   Ваш предыдущий контент был восстановлен.   Очистить редактор

×   Вы не можете вставить изображения напрямую. Загрузите или вставьте изображения по ссылке.

Загрузка...

  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.

×
×
  • Создать...