Травление GaAs арсенида галия, реакция!

[xavi7031]

Друзья подскажите, травлю GaAs в следующих травителях, H2O-H2O2-H2SO4  и H2O-H2O2-NH4OH, нужна реакция взаимодействия арсенида с этими 2 травителями, перерыл много отечесвенной и зарубежной литературы, найти не смог, может кто подскажет?

[ZaecЪ]

Читайте здесь http://slac.stanford.edu/pubs/slacpubs/11000/slac-pub-11018.pdf

Дается разбор реакции арсенида галлия с различными травильными составами

Изменено 17 Ноября, 2015 в 16:27 пользователем ZaecЪ

[xavi7031]

Читайте здесь http://slac.stanford.edu/pubs/slacpubs/11000/slac-pub-11018.pdf

Дается разбор реакции арсенида галлия с различными травильными составами

Спасибо за статью, но то что надо не нашел!

[ZaecЪ]

А на странице 7-й разве не то?

"When GaAs is oxidized by H2O2, the products (excluding intermediate products) are Ga2O3, As2O5. When sulfuric acid is present in the solution, the Arsenic oxide exists as an acid like H3AsO4."

...и далее цепочка из шести реакций

[xavi7031]

А на странице 7-й разве не то?

"When GaAs is oxidized by H2O2, the products (excluding intermediate products) are Ga2O3, As2O5. When sulfuric acid is present in the solution, the Arsenic oxide exists as an acid like H3AsO4."

...и далее цепочка из шести реакций

Да кое что есть, но не все!