Самодельная установка вакуумного напыления

[openfablab]

А готовый из поликарбоната люк от стиральной машины не пойдет ?

Он чересчур велик. А главное - невоспроизводим. А для меня в этом проекте едва ли не самое главное - воспроизводимость в "домашне-гаражных" условиях, чтобы другие, кто заинтересуется опытами, могли повторить без особых заморочек. 

По бороводородам есть данные об общей токсичности ввиду возможности их попадания в организм, а силанам и германам для получения этих данных необходимы анаэробные условия в организме - нереализуемые на практике.

А может, пустить выход вакуумного насоса в вытяжку через какой-нибудь "дожигатель" чтобы ничего токсичного не могло выйти? Ведь захочется потом и карбонилы и органику всякую позапускать.

[Максим0]

Он чересчур велик. А главное - невоспроизводим. А для меня в этом проекте едва ли не самое главное - воспроизводимость в "домашне-гаражных" условиях, чтобы другие, кто заинтересуется опытами, могли повторить без особых заморочек. 

А может, пустить выход вакуумного насоса в вытяжку через какой-нибудь "дожигатель" чтобы ничего токсичного не могло выйти? Ведь захочется потом и карбонилы и органику всякую позапускать.

Промывалка с хромовой смесью окислит всё что угодно... но чтоб аэрозоль её самой наружу не вылетал и в насос не затягивался - поставить перед ней и после неё по промывалке с раствором соды.

[openfablab]

Промывалка с хромовой смесью окислит всё что угодно... но чтоб аэрозоль её самой наружу не вылетал и в насос не затягивался - поставить перед ней и после неё по промывалке с раствором соды.

Отличная идея. А разве промывалки лучше не после насоса поставить - ведь иначе пары воды в камеру забегут?

Изменено 14 Ноября, 2017 в 12:29 пользователем openfablab

[Максим0]

Отличная мысль. А разве промывалки лучше не после насоса поставить - ведь иначе пары воды в камеру забегут?

Между насосом и атмосферой. Отключенный насос может пропускать воздух в вакуумированный объём.

Изменено 14 Ноября, 2017 в 12:24 пользователем Максим0

[openfablab]

Между насосом и атмосферой. Отключенный насос может пропускать воздух в вакуумированный объём.

Да, необходимо будет предусмотреть кран. Теперь выходная часть более-менее ясна. Осталось продумать входную: генерация и дозирование летучих соединений. Твердое и жидкое, как я понимаю, можно испарять нагревом неподалеку от подложки - и температурой (а может, и шириной отверстия в нагреваемом сосуде) контролировать подачу. А газы - в первую очередь, силан - вырабатывать и очищать где-то неподалеку, приняв меры против воды. 

 

Интересно, что будет, если испарять в камере какой-нибудь, скажем, хлорид железа, а подложку, наоборот, охлаждать. Вырастут ли кристаллы или ровная пленка? 

[Максим0]

Да, необходимо будет предусмотреть кран. Теперь выходная часть более-менее ясна. Осталось продумать входную: генерация и дозирование летучих соединений. Твердое и жидкое, как я понимаю, можно испарять нагревом неподалеку от подложки - и температурой (а может, и шириной отверстия в нагреваемом сосуде) контролировать подачу. А газы - в первую очередь, силан - вырабатывать и очищать где-то неподалеку, приняв меры против воды. 

Интересно, что будет, если испарять в камере какой-нибудь, скажем, хлорид железа, а подложку, наоборот, охлаждать. Вырастут ли кристаллы или ровная пленка? 

Вырастет поликристаллическое покрытие, причём чем ближе к подложке - тем мельче кристалл. Поверхность будет неровной.

[radiodetaleylubitel]

Интересно, что будет, если испарять в камере какой-нибудь, скажем, хлорид железа, а подложку, наоборот, охлаждать. Вырастут ли кристаллы или ровная пленка? 

Испортите установку. Потом отмывать замучаетесь и все перепачкаете. Хлорид железа испаряется при относительно низких температурах и жрет почти все металлы, даже медь. К тому же часть вещества разложится до хлора. И еще воду занесете. 

Здесь точно нужно промывать(пробулькивать) до насоса, а то и насос внутри подтравите.

Изменено 14 Ноября, 2017 в 15:33 пользователем radiodetaleylubitel

[openfablab]

Испортите установку. Потом отмывать замучаетесь и все перепачкаете. Хлорид железа испаряется при относительно низких температурах и жрет почти все металлы, даже медь. К тому же часть вещества разложится до хлора. И еще воду занесете. 

Здесь точно нужно промывать(пробулькивать) до насоса, а то и насос внутри подтравите.

Верно. Такие опыты можно делать совсем в маленьком объеме, и не обязательно в вакууме.

 

Раз нам нужно защищать насос (а, защищать, наверное, не только от хлора нужно), и вода появляется перед насосом, то нужно некое промежуточное звено чтобы водяные пары не шли обратно в  камеру. Может быть, перед водой пробулькивать через вакуумное масло?

[Хоббит)]

А как же вакуумные увеличители всего-всякого? Можно "солярий" открыть.

[radiodetaleylubitel]

Раз нам нужно защищать насос (а, защищать, наверное, не только от хлора нужно), и вода появляется перед насосом, то нужно некое промежуточное звено чтобы водяные пары не шли обратно в  камеру. Может быть, перед водой пробулькивать через вакуумное масло?

Про воду до насоса была шутка. Слой масла не даст достигнуть максимально достижимого разряжения. Возможно можно применить промежуточный сосуд с каким-нибудь поглотителем. Самое главное, чтоб поглотитель не фонил газом.