Вакуумная магнетронная напылительная система

[anastas_a]

Добрый день, товарищи-химики!)
У меня такая проблема...после процесса напыления никеля, слой на подложке получился какой-то "подгорелый". Позже после того, как достали мишень - увидели, что поверхность мишени оказалась подгорелой, где мишень соприкасается с магнетроном.....о чем это может свидетельствовать?

Изменено 14 Февраля, 2019 в 09:09 пользователем anastas_a

[mirs]

Никель магнитный материал. Магнетроном напыляется на троечку с минусом, 

разве что это специальный магнетрон для магнитных материалов.. С такими вопросами на чипмейкер.

Мишень не охлаждалась, течь по воде - много версий..