Травление и полировка карбида кремния в Общий Опубликовано 13 Марта, 2014 в 09:27 · Изменено 13 Марта, 2014 в 13:36 пользователем mrf_htmi мы в институте (ИТМО НАН Беларуси) применяем для таких целей магнитореологическое полирование http://izobretatel.by/node/184 ниже ссылка на полирование кремниевой пластины 300 мм данным методом в США http://www.aspe.net/...OPTFAB/2235.PDF
Травление и полировка карбида кремния
в Общий
Опубликовано · Изменено пользователем mrf_htmi
мы в институте (ИТМО НАН Беларуси) применяем для таких целей магнитореологическое полирование
http://izobretatel.by/node/184
ниже ссылка на полирование кремниевой пластины 300 мм данным методом в США
http://www.aspe.net/...OPTFAB/2235.PDF