Здесь как раз проблем нет. Современные фильтровальные материалы 2 мкм ловят легко. Как правило в поток вводится известь, она все на себя забирает - HF, HCl. SO3, конечно в небольших концентрациях. на западе эта технология освоена уже давно. Но вот с очисткой от хлорида цинка я что-то споткнулся. Кстати, даже установлена экспериментально оптимальная влажность извести - 18-22%. Но сейчас этим никто не занимается.