Я нюхал титан на запах, заложенность носа средней степени. При сильных отравлениях отеки легких и смертельный исход как у фосгена. Только концентрации соответственно гораздо выше чем у фосгена должны быть. Также титан хлористый едкий и может оставлять ожоги на коже, руки в него не макать. Испытывал на личинках жуков древесных - довольно быстро сдохли , когда на них полил хлоридом титана и приобрели оранжеватый оттенок.
Про кремний ничего сказать не могу, но кремний более летучий должен быть, титан кипит выше 100, кремний в районе 70.