Перейти к содержанию
Форум химиков на XuMuK.ru

Mikeo

Пользователи
  • Постов

    18
  • Зарегистрирован

  • Посещение

Весь контент Mikeo

  1. Да, очень интересная реакция. А там NO2 случайно пленку не разрывает иногда?
  2. Ммм, не понятно... Кремний же с азотной не реагирует вообще :-S Только с HF, или я чего-то не знаю?
  3. Понятно, спасибо... А какие есть идеи по поводу диэлектриков, которые можно осаждать тонкими слоями без температур >500C?
  4. Mikeo

    Окисление кремния

    Подскажите нубу: Надо научиться выращивать слой окисла на кремнии (ну, или другого диэлектрика), толщина - 0.02-0.2мкм. Понятно что на воздухе само нарастает 0.002мкм, а больше - в печке(1000C+, 1час+), собственно на производстве и не паряться. Есть ли какой способ обойтись комнатной температурой? (ни к чему лишний температурный стресс, ну и хотелось бы упростить процесс) Повторюсь, конкретный тип диэлектрика не важен. Нужно было бы 0.5-1мкм - прямо из фоторезиста бы и сделал, а вот 0.05 так не сделать (по крайней мере на коленке). Какие есть идеи?
  5. Это как раз решаемые проблемы - структура выправляется отжигом, легирование - легированием :-) Но по возможности нужен максимально чистый результат. А вот нигма уверяет что для реакции с водой нужно 400—500°C. Да и в воде постоянно пластины моют на производстве и ничего.
  6. В промышленных масштабах ничего не измениться. Сейчас килограм сверхчистого кремния полупроводникового качества стоит порядка 1000$, а из килограма можно столько всего наделать... В данном случае я пытаюсь решить проблему нанесения пленки аморфного кремния в обход силана - что дешево, но сложновато для лабороторного применения.
  7. Было бы интересно посмотреть :-) Так епрст, соберите сами из элементов Пельтье :-) Тут никакой мистики нету :-)
  8. Пока конкретных целей нет, но в случае успеха и для этого можно.
  9. Возможно ли гальваническое покрытие кремнием? Понятно, что на первый взгляд, подходящих солей не видно. хлориды и фториды - реагируют с водой. Могут ли помочь другие растворители? А например элетролиз жидкого SiCl4 без растворителя возможен? Можно ли тут что-то придумать? Понятно что просто не получится, но быть может есть какой-то способ, технически проще чем испарение кремния в вакуме или разложение силана в плазме :-)
  10. На просторах интернета нашел еще интересный путь: – алкилсилановые (их несколько модификаций – технический кремний в присутствии медного катализатора реагирует с безводным этиловым (метиловым) спиртом при 300С с последующим разложением продукта реакции до моносилана. В Японии уже этот метод используется, в СССР он разработан давно, но далее лабораторных экспериментов дело не продвинулось; Может кто-нибуть прокомментировать?
  11. Большое спасибо... Все уже выглядит радужнее... А подскажите какие есть способы эфективного осушения хлора без помощи концентрированной серной кислоты? Поможет ли перегонка избавится от растворенного хлора в тетрахлориде кремния?
  12. Отвечу как не химик пару очевидных мыслей : 1) С точки зрения физической нагрузки между вакуумом 10мм и 0.01мм разница всего в 1.5% ( =примерно килограм на 1 см^2 поверхности), не понимаю почему все акцентируют внимание на 10мм. Я лично с пузырьком 2мм не рисковал бы, и в любом случае - любой нагрев как можно равномернее. 2) Практически любую трубку крайне трудно раздавить от вакуума внутри (ровно потому же, почему трудно раздавить яйцо с "острого конца"). Главное - равномерная температура.
  13. Имею ввиду что хлор реагирует с кремнием напрямую :-)
  14. Тогда посмотрим внимательнее сюда: Четыреххлористый кремний - оказывается удобен, реагирует напрямую с кремнием, удобен для очистки ректификацией - на водяной бане и водяных холодильниках можно все на поток ставить ) Ну и поскольку он жидкий, с реакцией с LiAlH4 проблем не будет. Остается лишь уточнить условия, при которых кремний реагирует с хлором, подскажите?
  15. Пока не понятно как это будет работать - какие при этом идут реакции? И говоря "сплавлять" вы имеете ввиду 1700С? :-)
  16. :-| Да, думаю тут будет трудно тогда... Неужели нет более простых способов из кремния получить SiH4... А кремний напрямую с водородом не реагирует при нагреве? Понятно что моносилан разлагается...
  17. Спасибо, это выглядит более чем реально, по крайней мере пока не жалко 3000+ за 100г Li[AlH4]... А с технологической точки зрения - 1) Я могу смешать SiO2 с Li[AlH4] при комнатной температуре и продержать месяц подогревая лишь иногда для генерации новой порции газа? Это нужно т.к. начинать реакцию нужно будет в вакууме, чтобы не попал воздух. Соответственно, возможности разгерметизировать систему чтобы досыпать не будет :-) 2) Если Li[AlH4] восстанавливает SiO2 то лабораторная посуда отпадает... В чем реакцию проводить лучше, чтобы не загрязняло, не реагировало с Li[AlH4] и выдержало вакуум внутри? 3) Оба исходных вещества - твердые... Получается если в пыль не растирать (что все загрязнит) то все не сможет прореагировать... Как обычно решается такой вопрос? 4) Поможет ли охлаждение продукта жидким азотом ниже температуры испарения отделить примеси? Или есть более простые способы? В идеале примесей должно быть сильно меньше чем 1ppm. 5) Где и как вообще хранят газы, получаемые лабораторным путем? Не в 10л баллонах же :-)
  18. Добрый день, не пинайте новичка в химии ногами :-) Хочу получить моносилан для выращивания слоя аморфного кремния (максимально чистый). Чистый кремний сам по себе - доставабелен вроде, процесс выращивания также ясен. Однако, куда не ткнусь - везде тупики: 1) Моносилан напрямую - не купить меньше цистерны, взрывоопасен, и в баллон 10 литров никто не нацедит в отличии от азота/аргона :-) 2) Мg2Si + HCl - Mg2Si не купить. Сплавлять чистый кремний с магнием - возможно, но опять же магний не купить (понятно что наковырять там-сям можно, но это явно не ХЧ/ЧДА). 3) Si+4HF=SiF4+2H2 и где-то видел упоминание возможности восстановления SiF4 до SiH4 гидридом кальция, но его из Ca+H2 синтезировать при 700С - тоже не удобно. Ну и конечно с SiF4 хотелось бы иметь дело меньше всего. Сам по себе/от нагрева/плазмы SiF4 не разлагается :-( 4) Другие силициды продаются (бора/ванадия/вольфрама/марганца/ниобия/хрома/циркония) - но количество примесей там не ясно, и мне трудно предсказать можно ли из них получить моносилан... 5) В худшем случае остается прямое испарение кремния в вакууме, но это как-то совсем жестко, да и качество покрытия страдает. Подскажите, куда копать :-)
×
×
  • Создать...
Яндекс.Метрика