Привет!
Возникла задача вытравить в пленке ЖИга(Y3Fe5O12) некоторую структуру. На одном оборонном заводе взялись это дело. Однако, процент брака выше 80%. Травят в кипящей ортофосфорной кислоте. Маски используют промышленные, в универе мне такие не достать. Недавно перешли на защиту с помощью напыления металла. Лучше не стало. Теперь подтравливается под маску.
Мне кажется, что данную задачу можно решить проще, вроде ЖИГ может травиться в соляной кислоте. А к ней должны быть устойчивые фоторезисты.
Можете что нибудь подсказать по этому поводу?
