Порадуйте ссылкой на справочник содержащий физико - химические свойства газов (чем больше, тем лучше) для газов используемых в
Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы и газофазной эпитаксии
Таких, например, как:
Триметил галлия Ga(CH3)3
Триэтил галлия Ga(C2H5)3
Арсин AsH3
Фениларсин
Триизопропил галлия Ga(C3H7)3