Чем заменить гидроксид холина?
Гидроксид холина используем для травления кремния. Но пр этом SiO2 нужно оставлять абсолютно нетронутым. Гидроксид холина как раз имеет соотношения травление Si к травлению SiO2 примерно 5000:1.
Нужно что-то подобное найти. Нужно что-то с менее неприятным запахом и что проще достать.
NaOH и KOH пробовали при разных температурах и концентрациях, кремний травится не равномерно и SiO2 в итоге все равно местами подъедается.
И где-то в каком-то патенте или статье читал(уже не могу найти), что к гидроксид холину добавляют какой-то "цитрусовый концентрат"(цитрон) или что-то подобное, чтоб перебить неприятный запах. Что химики используют для нейтрализации запахов?