таблицы по FTIR для неорганических веществ

[cuporos]

Посредством FTIR (Fourier Transform InfraRed spectroscopy) были получены спектры поглощения Si и Si, с нанесённой на него плёнкой оксида индия легированного фтором (IFO). При напылении плёнки на поверхность кремния образуется в области их контакта образуется прослойка оксида кремния. По полученным спектрам требуется определить степень нестехиометричности оксида кремния или какие модификации оксида кремния присутствуют на данном образце. Раньше этим никогда не занимался, пока нашёл только таблицы для органических веществ, а мне необходимы значения волновых чисел(частот) для оксидов кремния. Помогите, кто чем может!