как удалить металлизированный слой

[taandr]

Всем добрый день!

 

Столкнулся с такой задачей: существует так называемое К-стекло, это обычное листовое стекло с нанесенным покрытием, состоящим из

оксида индия InO₂ и олова SnO_2. Необходимо удалить участки покрытия химическим способом. Доподлино известно, что это делают с помощью Zn и HCl:

 

"Оксиды индия InO₂ и олова SnO₂ химически очень стойки к кислотам (за исключением фтористоводородной кислоты) и их солям. Травить эти оксиды можно в нагретых щелочах, но маски из фоторезиста не выдерживают подобной обработки. Поэтому, чуть ли не единственным выходом является использование реакции замены олова или индия активным металлом, например, цинком:

2HCl + Zn = ZnCl₂ + H₂

Практически цинк вводят в раствор соляной кислоты в виде цинковой пыли. Приготавливают водную суспензию цинковой пыли, наносят ее на пластину и опускают пластину в кислоту. Травление происходит только в момент выделения водорода, т. е. цинка должно хватить для образования водорода в течение всего времени травления. "

 

Все это было испробовано, но результат отрицательный. Вероятно, процесс травления должен проходить при определенных условиях.

Уважаемые специалисты, помогите с решением этой задачи.

[oktan]

а , если попробовать сильноразбавленой HF или чтобы не повредить стекло попробовать гексафторсиликатами (но я не уверен).

[taandr]

Спасибо за совет, но нужно именно с помощью HCl.