borodul Опубликовано 15 Февраля, 2015 в 06:14 Поделиться Опубликовано 15 Февраля, 2015 в 06:14 Приветствую, братья и сестры! Посоветуйте способ снятия кремния с сапфировой подложки. Поясняю: есть что-то типа микросхемы, в которой подложка - сапфир, а на нем тонким слоем (где-то пол-микрона) нанесен кремний. Так вот, мне нужно сохранить сапфир, а кремний в помойку отделить. Растворять в плавиковке, понятное дело, не вариант - ни кремния, но и ни сапфира. Надо бы что-нибудь такое, чтобы кремний слазил легко и непринужденно, желательно без жестоких воздействий типа адского пламени. Голову сломал уже... Ссылка на комментарий
aversun Опубликовано 15 Февраля, 2015 в 06:24 Поделиться Опубликовано 15 Февраля, 2015 в 06:24 Приветствую, братья и сестры! Посоветуйте способ снятия кремния с сапфировой подложки. Поясняю: есть что-то типа микросхемы, в которой подложка - сапфир, а на нем тонким слоем (где-то пол-микрона) нанесен кремний. Так вот, мне нужно сохранить сапфир, а кремний в помойку отделить. Растворять в плавиковке, понятное дело, не вариант - ни кремния, но и ни сапфира. Надо бы что-нибудь такое, чтобы кремний слазил легко и непринужденно, желательно без жестоких воздействий типа адского пламени. Голову сломал уже... Азотной кислотой с небольшой добавкой плавиковой, или фторидов щелочных металлов. Альфа-оксид алюминия в кислотах не растворяется, в том числе и в плавиковой кислоте. Ссылка на комментарий
dimon15 Опубликовано 15 Февраля, 2015 в 07:19 Поделиться Опубликовано 15 Февраля, 2015 в 07:19 Можно ещё попробовать раствором NaOH или KOH при небольшем нагревании ...я так удалял кремний с вольфрамовых подложек от тиристоров...но насчёт оксида алюминия не знаю не пробовал Ссылка на комментарий
Рекомендуемые сообщения
Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь
Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий
Создать аккаунт
Зарегистрируйте новый аккаунт в нашем сообществе. Это очень просто!
Регистрация нового пользователяВойти
Уже есть аккаунт? Войти в систему.
Войти