Перейти к публикации
Форум химиков на XuMuK.ru

Рекомендованные сообщения

Решение задач, рефераты, курсовые - онлайн сервис помощи учащимся. Цены в 2-3 раза ниже!

Приветствую, братья и сестры!

Посоветуйте способ снятия кремния с сапфировой подложки. Поясняю: есть что-то типа микросхемы, в которой подложка - сапфир, а на нем тонким слоем (где-то пол-микрона) нанесен кремний. Так вот, мне нужно сохранить сапфир, а кремний в помойку отделить. Растворять в плавиковке, понятное дело, не вариант - ни кремния, но и ни сапфира. Надо бы что-нибудь такое, чтобы кремний слазил легко и непринужденно, желательно без жестоких воздействий типа адского пламени. Голову сломал уже...

Ссылка на сообщение

Приветствую, братья и сестры!

Посоветуйте способ снятия кремния с сапфировой подложки. Поясняю: есть что-то типа микросхемы, в которой подложка - сапфир, а на нем тонким слоем (где-то пол-микрона) нанесен кремний. Так вот, мне нужно сохранить сапфир, а кремний в помойку отделить. Растворять в плавиковке, понятное дело, не вариант - ни кремния, но и ни сапфира. Надо бы что-нибудь такое, чтобы кремний слазил легко и непринужденно, желательно без жестоких воздействий типа адского пламени. Голову сломал уже...

Азотной кислотой с небольшой добавкой плавиковой, или фторидов щелочных металлов. Альфа-оксид алюминия в кислотах не растворяется, в том числе и в плавиковой кислоте. 

Ссылка на сообщение

Можно ещё попробовать раствором NaOH или KOH при небольшем нагревании ...я так удалял кремний с вольфрамовых подложек от тиристоров...но насчёт оксида алюминия не знаю не пробовал

Ссылка на сообщение

Создайте аккаунт или войдите в него для комментирования

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать аккаунт

Зарегистрируйтесь для получения аккаунта. Это просто!

Зарегистрировать аккаунт

Войти

Уже зарегистрированы? Войдите здесь.

Войти сейчас
  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.

×
×
  • Создать...
Яндекс.Метрика