Перейти к публикации
Форум химиков на XuMuK.ru

Травление и полировка карбида кремния


Ilkham

Рекомендованные сообщения

Решение задач, рефераты, курсовые - онлайн сервис помощи учащимся. Цены в 2-3 раза ниже!

Можно попробовать плавиковую кислоту, на некоторые модификации SiC она действует, а вообще, травлением при высокой температуре в смеси хлор + кислород

 

http://referating.com/item_33855.html

Ссылка на сообщение
  • 6 лет спустя...

мы в институте (ИТМО НАН Беларуси) применяем для таких целей магнитореологическое полирование

http://izobretatel.by/node/184

ниже ссылка на полирование кремниевой пластины 300 мм данным методом в США

http://www.aspe.net/...OPTFAB/2235.PDF

Изменено пользователем mrf_htmi
Ссылка на сообщение

Присоединяйтесь к обсуждению

Вы можете опубликовать сообщение сейчас, а зарегистрироваться позже. Если у вас есть аккаунт, войдите в него для написания от своего имени.
Примечание: вашему сообщению потребуется утверждение модератора, прежде чем оно станет доступным.

Гость
Ответить в тему...

×   Вставлено в виде отформатированного текста.   Вставить в виде обычного текста

  Разрешено не более 75 эмодзи.

×   Ваша ссылка была автоматически встроена.   Отобразить как ссылку

×   Ваш предыдущий контент был восстановлен.   Очистить редактор

×   Вы не можете вставить изображения напрямую. Загрузите или вставьте изображения по ссылке.

Загрузка...
  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.

×
×
  • Создать...
Яндекс.Метрика