Ilkham 0 Опубликовано: 14 ноября 2007 Рассказать Опубликовано: 14 ноября 2007 Есть проблема - надо химически удалять слой 15-20 мкм у монокристаллических пластинок карбида кремния. Просьба дать совет Цитата Ссылка на сообщение
Dengi75 2 Опубликовано: 14 ноября 2007 Рассказать Опубликовано: 14 ноября 2007 на чём этот слой? Цитата Ссылка на сообщение
aversun 5 309 Опубликовано: 14 ноября 2007 Рассказать Опубликовано: 14 ноября 2007 Можно попробовать плавиковую кислоту, на некоторые модификации SiC она действует, а вообще, травлением при высокой температуре в смеси хлор + кислород http://referating.com/item_33855.html Цитата Ссылка на сообщение
mrf_htmi 0 Опубликовано: 13 марта 2014 Рассказать Опубликовано: 13 марта 2014 (изменено) мы в институте (ИТМО НАН Беларуси) применяем для таких целей магнитореологическое полирование http://izobretatel.by/node/184 ниже ссылка на полирование кремниевой пластины 300 мм данным методом в США http://www.aspe.net/...OPTFAB/2235.PDF Изменено 13 марта 2014 пользователем mrf_htmi Цитата Ссылка на сообщение
Рекомендованные сообщения
Присоединяйтесь к обсуждению
Вы можете опубликовать сообщение сейчас, а зарегистрироваться позже. Если у вас есть аккаунт, войдите в него для написания от своего имени.
Примечание: вашему сообщению потребуется утверждение модератора, прежде чем оно станет доступным.