Кислородный геттерный насос

[Desmod]

Для того, чтобы распылять Al, очень глубокий вакуум не потребуется - порядка 10 Па будет достаточно.

 

По моим расчётам, даже если нагревать до 1000 °С, давление паров алюминия будет порядка 1 Па. Так что если напылять при 10 Па, то система будет неравновесная (температура пара алюминия сильно больше температуры обрабатываемой поверхности.) Получится ли в этом случае качественный слой? Или, может, в этом и смысл, чтобы кристаллы не нарастали?

 

С цинком всё должно быть проще, у него при 500 °С давление уже больше 150 паскаль, а при 600 он должен закипать уже под водоструйником.

 

 

 

А галогенным переносом нельзя ли алюминий напылять?

Изменено 5 Декабря, 2015 в 15:32 пользователем Desmod

[dmr]

А что если сначало вытеснить воздух водяным паром,а закрыв загерметезировав емкость поглотить пар оксидом фосфора или даже натрия? Будет ли вакуум?

[Desmod]

И алюминий, и цинк взаимодействуют с гидроксидами (и кислыми - фосфора, и щелочными - натрия) с выделением водорода.

 

Upd: частично разобрался в своём вопросе. Пылят не из газовой фазы, а фактически туманом расплавленного металла (по крайней мере, один из способов), так что особо низкого давления, действительно, не надо. Так что, думаю, если заполнить камеру кислородом (процентов 95-97 чистоты), откачать водоструем и дожечь испарённым алюминием, может и получиться. Вопрос только - как убрать дым окиси алюминия.

 

Может, проще заполнять азотом такой же чистоты и откачивать хотя бы до 10-2 торр? Китайские двухступенчатые насосы на такое давление, вроде, не особо дорогие.

Изменено 5 Декабря, 2015 в 18:15 пользователем Desmod