Самодельная установка вакуумного напыления

[N№4 305]

Не меньше, чем 10^-4 ,  рекомендуют  3*10^-5  атм

Для молекулярного потока (т.е. без остывания атомов за счёт столкновений и рассеяния) вроде надо 10-6  атм.

длина свободного пробега атома от давления

https://en.wikipedia.org/wiki/Mean_free_path

[radiodetaleylubitel 96]

Вот новая модульная вакуумная установочка. Часть деталей уже готова:

Плоское стекло плохо переносит нагрузки.

Изменено 13 ноября 2017 пользователем radiodetaleylubitel

[openfablab 4]

Плоское стекло плохо переносит нагрузки.

Вы правы. Однако, я не знаю как сделать выпуклое стекло. Поэтому решил просто обойтись толстым плоским. Для начала хочу использовать диски-заглушки из 6 мм органического стекла и 4 мм стали. Если будут с этим проблемы, то можно будет нарезать на гиброабразиве из обычного или даже кварцевого стекла окошки нужной толщины. 

[Максим0 2 080]

Вы правы. Однако, я не знаю как сделать выпуклое стекло. Поэтому решил просто обойтись толстым плоским. Для начала хочу использовать диски-заглушки из 6 мм органического стекла и 4 мм стали. Если будут с этим проблемы, то можно будет нарезать на гиброабразиве из обычного или даже кварцевого стекла окошки нужной толщины. 

0) Нагреть до размягчения и сжать между двумя пуассонами... ради такого количества иллюминаторов имеет смысл их сделать. На полировке одного пуассона (кольцевого) можно сэкономить, но у другого (кольцо + сегмент сферы) придётся сферический участок поверхности отполировать с оптическим качеством.

1) Под стекло можно положить стальную опорную решётку с огромными шестиугольными отверстиями.

[openfablab 4]

0) Нагреть до размягчения и сжать между двумя пуассонами... ради такого количества иллюминаторов имеет смысл их сделать. На полировке одного пуассона (кольцевого) можно сэкономить, но у другого (кольцо + сегмент сферы) придётся сферический участок поверхности отполировать с оптическим качеством.

1) Под стекло можно положить стальную опорную решётку с огромными шестиугольными отверстиями.

0) А может даже просто дать нагретому стеклу немного  провиснуть. Но, увы, никакой стеклодувной технологии в моем распоряжении нет.

1) Надо отметить, что отверстия и так не слишком большие: диаметром 108 мм. Решетка, действительно может быть полезной. Еще один возможный ход: выточить в металлическом диске отверстие совсем небольшого диаметра и вклеить стекло (или кусочки стекла) - впрочем, это не ничем лучше решетки.  

[Максим0 2 080]

0) А может даже просто дать нагретому стеклу немного  провиснуть. Но, увы, никакой стеклодувной технологии в моем распоряжении нет.

1) Надо отметить, что отверстия и так не слишком большие: диаметром 108 мм. Решетка, действительно может быть полезной. Еще один возможный ход: выточить в металлическом диске отверстие совсем небольшого диаметра и вклеить стекло (или кусочки стекла) - впрочем, это не ничем лучше решетки.  

Можно, но из-за деполимеризации небольшая часть прочности потеряется. Потом есть риск появления в толще листа пузырей - тут конкретную марку стекла на опыте проверять надо. Потом форма поверхности будет округлой, но не сферической.

С оргстеклом и пуассонами дуть ненужно! Умеренно греть и давить.

6 мм плоского оргстекла на отверстии 108 мм и разности в атмосферу полностью достаточно, но только без нагрева и концентраторов напряжений.

[mirs 1 364]

  (а с PVD+CVD должно получиться совсем хорошо) 

CVD - не очень гаражная технология.

[openfablab 4]

Можно, но из-за деполимеризации небольшая часть прочности потеряется. Потом есть риск появления в толще листа пузырей - тут конкретную марку стекла на опыте проверять надо. Потом форма поверхности будет округлой, но не сферической.

С оргстеклом и пуассонами дуть ненужно! Умеренно греть и давить.

6 мм плоского оргстекла на отверстии 108 мм и разности в атмосферу полностью достаточно, но только без нагрева и концентраторов напряжений.

 

Вот и я думаю, вряд ли проломит. Собственно, можно было бы подать вакуум, нагреть строительным феном - оно бы втянулось, должно быть,  почти сферично. А когда остынет - перевернуть выпуклостью наружу.  Но я не хочу без надобности тратить плоские пластинки оргстекла - наверняка будет большой расход их для того чтобы делать вводы различных приборов в вакуум.

 

CVD - не очень гаражная технология.

 

Это точно. Но и PVD не в каждом гараже встречается А, собственно,  в чем Вы видите основную трудность? Я бы хотел в этой установке попробовать и то и то. Для нагрева подложки хочу приспособить индукционную печь - ей и так самое место в вакууме. Интересно, на чем бы таком простом и неядовитом попробовать CVD?

[Максим0 2 080]

Вот и я думаю, вряд ли проломит. Собственно, можно было бы подать вакуум, нагреть строительным феном - оно бы втянулось, должно быть,  почти сферично. А когда остынет - перевернуть выпуклостью наружу.  Но я не хочу без надобности тратить плоские пластинки оргстекла - наверняка будет большой расход их для того чтобы делать вводы различных приборов в вакуум.

Это точно. Но и PVD не в каждом гараже встречается А, собственно,  в чем Вы видите основную трудность? Я бы хотел в этой установке попробовать и то и то. Для нагрева подложки хочу приспособить индукционную печь - ей и так самое место в вакууме. Интересно, на чем бы таком простом и неядовитом попробовать CVD?

Простом и неядовитом... И интересны вам полупроводники. Раз простое - смотрим на элементарные полупроводники - бор, кремний, германий, мышьяк, сурьма, селен, теллур. Наложив условие неядовитости продукции остаются бор, кремний и германий.

Вариантов-то кот наплакал!

Бор - новаторский, амбиционный вариант. Кремний - ширпотреб (кремний на сапфире). Германий - дорогие исходники и низкие требования к технологии, ожидаю что самый простой вариант если устроит биполярная технология.

Изменено 13 ноября 2017 пользователем Максим0

[openfablab 4]

Простом и неядовитом... И интересны вам полупроводники. Раз простое - смотрим на элементарные полупроводники - бор, кремний, германий, мышьяк, сурьма, селен, теллур. Наложив условие неядовитости продукции остаются бор, кремний и германий.

Вариантов-то кот наплакал!

Бор - новаторский, амбиционный вариант. Кремний - ширпотреб (кремний на сапфире). Германий - дорогие исходники и низкие требования к технологии, ожидаю что самый простой вариант если устроит биполярная технология.

Спасибо, сразу стали видны направления. А насколько сложнее выращивать двухкомпонентные полупроводники?