Самодельная установка вакуумного напыления

[mirs]

 Наложив условие неядовитости продукции остаются бор, кремний и германий.

В CVD процессах бор осаждают из диборана, кремний из силана.

Изменено 13 Ноября, 2017 в 21:10 пользователем mirs

[Максим0]

В CVD процессах бор осаждают из диборана, кремний из силана.

Тогда бор слишком амбициозен ввиду условия нетоксичности.

Спасибо, сразу стали видны направления. А насколько сложнее выращивать двухкомпонентные полупроводники? 

Тут беда в стехиометрии... слишком сильно полупроводниковые свойства от неё зависят - и в допуски без металлоорганики не попасть.

[aversun]

Для молекулярного потока (т.е. без остывания атомов за счёт столкновений и рассеяния) вроде надо 10-6  атм.

длина свободного пробега атома от давления

https://en.wikipedia.org/wiki/Mean_free_path

Это рекомендация из книги Д.Стронг "Практика современной физической лаборатории"

[openfablab]

Тогда бор слишком амбициозен ввиду условия нетоксичности.

Тут беда в стехиометрии... слишком сильно полупроводниковые свойства от неё зависят - и в допуски без металлоорганики не попасть.

Стало быть, наши реагенты в первую очередь: летучие гидриды (силан, аммиак, метан) и галогениды.  

 

Изменено 13 Ноября, 2017 в 22:38 пользователем openfablab

[Velund]

Тогда бор слишком амбициозен ввиду условия нетоксичности.

 

 

 

А что, силаны - витамины все как один?

[openfablab]

А что, силаны - витамины все как один?

Ну хотя бы есть шанс, что они сгорят в атмосфере А вообще, может иметь смысл правильно наладить процесс, так чтобы было не опасно при любом раскладе. 

[Velund]

А вообще, может иметь смысл правильно наладить процесс, так чтобы было не опасно при любом раскладе. 

 

Если честно, то вблизи жилья сам факт работы с токсичными газообразными соединениями будет всех неслабо напрягать. Сколько бы не было мер предосторожности...

[openfablab]

Если честно, то вблизи жилья сам факт работы с токсичными газообразными соединениями будет всех неслабо напрягать. Сколько бы не было мер предосторожности...

 

А что же  это получается, для выращивания пленок нужны целые баллоны этих соединений? Или можно обойтись чем-то в стиле аппарата Киппа "сколько расходуется, столько и вырабатывается"?

 

PS Я хочу экспериментировать в  частном доме, тут главное чтобы самого не "напрягло"  

Изменено 13 Ноября, 2017 в 23:09 пользователем openfablab

[Максим0]

А что, силаны - витамины все как один?

По бороводородам есть данные об общей токсичности ввиду возможности их попадания в организм, а силанам и германам для получения этих данных необходимы анаэробные условия в организме - нереализуемые на практике.

[МВВ]

Можно, но из-за деполимеризации небольшая часть прочности потеряется. Потом есть риск появления в толще листа пузырей - тут конкретную марку стекла на опыте проверять надо. Потом форма поверхности будет округлой, но не сферической.

С оргстеклом и пуассонами дуть ненужно! Умеренно греть и давить.

6 мм плоского оргстекла на отверстии 108 мм и разности в атмосферу полностью достаточно, но только без нагрева и концентраторов напряжений.

А готовый из поликарбоната люк от стиральной машины не пойдет ?