Изотропность и анизотропность анодного травления

[Фалька1]

Доброго времени суток! Посогите, пожалуйста, разобраться. Для полировки кремния (изотропный процесс) ты химически травим его в кислотах. При подаче малого тока в той же кислоте - кремний травится порами (т.е. анизотропно (?), при его увеличении до некотрого значения - снова полируется, т.е. процесс вновь становится изотропным. Как это можно объяснить? Или травление пор нельзя рассматривать как анизотропный процесс?.. Но в процессе травления пор можно получить столбчатые структуры (очень глубокие поры), вряд ли его можно считать изотропным... Заранее спасибо!