анизотропное травление арсенида галлия

[Persona (non) grata]

Требуется реакция(и) травления арсенида галлия вот таким травителем: 1М K3[Fe(CN)6] + 0,25M KOH

 

И порекомендуйте, пожалуйста, какие-нибудь книги по анизотропному травлению арсенида галлия или на худой конец кремния

[aversun]

Требуется реакция(и) травления арсенида галлия вот таким травителем: 1М K3[Fe(CN)6] + 0,25M KOH

 

И порекомендуйте, пожалуйста, какие-нибудь книги по анизотропному травлению арсенида галлия или на худой конец кремния

Получится что то вроде этого, думаю, скорее всего арсенат галлия (вторая реакция).

K3[Fe(CN)6] + KOH + H2O + GaAs = K4[Fe(CN)6] + K3AsO3 + GaAsO3

8K3[Fe(CN)6] + 8KOH + GaAs = 4H2O + 8K4[Fe(CN)6] + GaAsO4

арсенат нерастворим но гидротируется до GaAsO4*2H2O и не должен образовывать пленку на арсениде галлия, препятствуя дальнейшему травлению, а может наоборот, именно по этому и обеспечивается анизатрпность травления.

[Enderius]

 

И порекомендуйте, пожалуйста, какие-нибудь книги по анизотропному травлению арсенида галлия или на худой конец кремния

 

Есть книга З.У. Борисовой "Химия стеклообразых полупроводников" издательство ЛУ 1972 г. Там по галлию всего одна глава, но есть ссылки на литературу, можете порыться. Ну и есть, конечно, чудо сайт: http://scholar.google.com/