Добрый день!
Травлю шлифованные кварцевые пластины. Раствор ~10% бифторида в ~ 50% серной кислоте +0,002% ПАВ. Травление циклическое, величину съёма контролирую по массе. Получили скорость после первого травления. С последующими она предсказуемо падает (изменение рельефа поверхности). А вот теперь, если взять новый травильный раствор скорость опять существенно повышается. Вопрос: почему? По расчетам концентрация бифторида уменьшается менее, чем на 0,3%. Буду признателен за версии.