мишени для магнетрона

[Claveron]

Здравствуйте господа, требуются мишени для магнетронного распыления след составов:

1. (SnO2)(In2O3) 10%/90%

2. (SnO2)(In2O3) 90%/10%

3. (SnO2)(In2O3) 70%/30%

4.Zn0

5.Tio2

6.Si

 

Диаметр мишеней 3 дюйма, толщина не более 10 мм, а также чтобы в качестве основания выступал Сu.

 

Жду предложений!!!

[sstep]

Меня также интересует магнетронное нанесение указанных автором и подобных составов из окисных полупроводников. Вот задаюсь вопросом-а какую конструкцию должна иметь мишень? Можно-ли изготовить прессованием диск (блин) из спрессованного вещества требуемого состава и положить его на уже имеющуюся медную мишень? Как в таком случае обеспечить надежный тепловой и электрический контакт этого блина с медной мишенью? При этом наверное процесс магнетронного распыления должен проводиться на ВЧ переменном токе? Или не обязательно? Claveron или кто-то еще, кто владеет данным вопросом, поделитесь, пожалуйста, своими соображениями по данному вопросу.

[DX666]

Это токопроводящие прозрачные составы навроде как в солнечных батареях и электрохромном стекле?

[sstep]

Ну да на основе смеси окислов олова и индия получают наиболее широко используемые в солнечных элементах слои ITO, которые обладают хорошей прозрачностью и электропроводностью. Пленки окиси цинка также прозрачны. А вот насчет пленок двуокиси титана не знаю. Наверное зависит от толщины

[fiagdon24]

Здравствуйте господа, требуются мишени для магнетронного распыления след составов:

1. (SnO2)(In2O3) 10%/90%

2. (SnO2)(In2O3) 90%/10%

3. (SnO2)(In2O3) 70%/30%

4.Zn0

5.Tio2

6.Si

 

Диаметр мишеней 3 дюйма, толщина не более 10 мм, а также чтобы в качестве основания выступал Сu.

 

Жду предложений!!![

Добрый день! не подскажете, мишени у какого производителя вы приобрели?