травление арсенида индия

[dimax8467]

Необходимо найти растворитель для травления (с целью выявления дислокаций) и очистки поверхности монокристалла арсенида индия. Есть варианты: 1) соляная + азотная + уксусная кислоты, 2) соляная + азотная кислоты + перекись водорода, 3) раствор аммиака + перекись (мало эффективен). Есь ли какие-либо другие предложения, или хотя бы рекомендации, в каких пропорциях смешивать перечисленные реагенты?

[probirka]

Необходимо найти растворитель для травления (с целью выявления дислокаций) и очистки поверхности монокристалла арсенида индия. Есть варианты: 1) соляная + азотная + уксусная кислоты, 2) соляная + азотная кислоты + перекись водорода, 3) раствор аммиака + перекись (мало эффективен). Есь ли какие-либо другие предложения, или хотя бы рекомендации, в каких пропорциях смешивать перечисленные реагенты?

кристалл большой? микроэлектроника?

[dimax8467]

кристалл большой? микроэлектроника?

Монокристалл диаметром 76 мм, толщиной 2 мм, предназначен для эпитаксии по плоскости (100). Толщина эпитаксиального слоя 8-12 мкм.

Спасибо!!!!! Если будут идеи - НИИ в долгу не останется!!!!!