Селективное травление кремния

[Dastanus]

В качестве травителя выступает состав из 3 веществ: фторная кислота(48%), оксид хрома 6(раствор) и вода.

Знаний к сожалению недостаточно

Должна получиться реакция на подобие Si+4HNO₃+6HF=H₂[siF₆] +4NO₂+2H₂O 
помогите пожалуйста уравнять методом электронного баланса

каким образом в данной реакции окисляется кремний

Изменено 24 Февраля, 2016 в 21:51 пользователем Dastanus

[aversun]

В качестве травителя выступает состав из 3 веществ: фторная кислота(48%), оксид хрома 6(раствор) и вода.

Знаний к сожалению недостаточно

Должна получиться реакция на подобие Si+4HNO₃+6HF=H₂[siF₆] +4NO₂+2H₂O 

помогите пожалуйста уравнять методом электронного баланса

каким образом в данной реакции окисляется кремний

Откуда взялась в растворе азотная кислота, если должен быть оксид хрома (VI)?

[Dastanus]

Откуда взялась в растворе азотная кислота, если должен быть оксид хрома (VI)?

Это пример полирующего травления, с которым проблем нет.

Мне необходима помощь в селективном травлении с травителем, указанным в шапке.

[aversun]

Это пример полирующего травления, с которым проблем нет.

Мне необходима помощььь в селективном травлении с травителем, указанным в шапке.

Тогда нахрена было приводить эту реакцию? Что бы с толку сбивать?

3Si + 4CrO3 + 30HF = 3H2[siF6] + 4CrF3 + 12H2O

или скорее так

3Si + 4CrO3 + 42HF = 3H2[siF6] + 4H3[CrF6] + 12H2O

Сначала кремний окисляется CrO3 до SiO2, а потом уж начинает работать плавиковая кислота.

Изменено 24 Февраля, 2016 в 22:40 пользователем aversun

[Dastanus]

Тогда нахрена было приводить эту реакцию? Что бы с толку сбивать?

3Si + 4CrO3 + 30HF = 3H2[siF6] + 4CrF3 + 12H2O

или скорее так

3Si + 4CrO3 + 42HF = 3H2[siF6] + 4H3[CrF6] + 12H2O

Сначала кремний окисляется CrO3 до SiO2, а потом уж начинает работать плавиковая кислота.

а можно реакцию окисления кремния?

просто пробовал неоднократно уже, а получается муть какая-то

[aversun]

а можно реакцию окисления кремния?

просто пробовал неоднократно уже, а получается муть какая-то

3Si + 4CrO3 + 24HF = 3SiO2 + 4H3[CrF6] + 6H2O

Если муть, добавьте сильной кислоты, например H2SO4

[Dastanus]

3Si + 4CrO3 + 24HF = 3SiO2 + 4H3[CrF6] + 6H2O

Если муть, добавьте сильной кислоты, например H2SO4

В том то и дело, что необходимо получить результат используя только 3 в-в: воду, плавиковую кислоту и оксид хрома (VI)

Муть получается "образно". Это я про попытки решить эту задачу)

Изменено 25 Февраля, 2016 в 06:50 пользователем Dastanus

[aversun]

В том то и дело, что необходимо получить результат используя только 3 в-в: воду, плавиковую кислоту и оксид хрома (VI)

Муть получается "образно". Это я про попытки решить эту задачу)

Муть - опять мозги пудрите. Муть в таких случаях и есть муть, например от гидролиза.

Странный состав, у Ямпольского такого нет, у него комбинации азотной, плавиковой и уксусной кислот для глубокого рельефного травления.

[Dastanus]

Муть - опять мозги пудрите. Муть в таких случаях и есть муть, например от гидролиза.

Странный состав, у Ямпольского такого нет, у него комбинации азотной, плавиковой и уксусной кислот для глубокого рельефного травления.

Приходиться решать поставленные, а не удобные задачи)

В любом случае, спасибо за помощь)