Si/Cr/Ni

[Kuguar]

Собственно есть слоистая структура на подложке Si . Над ним слой хрома ()центральный слой() и Ni . Сверху создается маска из оксида никеля. Подскажите травитель : а) чтоб удалить только никель б) удалить никель и хром. (поддтарвлеванием пренебречь, я думаю :unsure:, можно )

[Вова123]

Напильник в руки и вперед

[aversun]

б) удалить никель и хром. (поддтарвлеванием пренебречь, я думаю :unsure:, можно )

 

Разбавленная соляная кислота

Разбавленная серная кислота + NaCl

Разбавленная азотная кислота + NaCl

Изменено 4 Мая, 2011 в 23:43 пользователем aversun

[SMV]

Kuguar

Никель прекрасно травится азотной кислотой (хром почти не реагирует).

Хром травится соляной кислотой. Кремний в обычных условиях инертен к данным кислотам.

 

Ну и конечно, условия обработки подбирать Вам.

[Kuguar]

Разбавленная соляная кислота

Разбавленная серная кислота + NaCl

Разбавленная азотная кислота + NaCl

 

Можно полюбопытствовать о роли NaCl в данном процессе?

 

p/s Спасибо за помощь!

[aversun]

Можно полюбопытствовать о роли NaCl в данном процессе?

 

p/s Спасибо за помощь!

 

Как депассиватор. Никель и особенно хором имеют тенденцию в пассивации, хлор препятствует пассивации. Хлорида добавляют немного, но скорость растворения при такой добавке существенно повышается.