Селективное травление пленок SbSe

[Enderius]

Уважаемые коллеги, сталкивался ли кто с селективным травлением пленок SbSe? Интересует любая информация на эту тему, особенно состав травителя и различия в механизме травления кристаллической и аморфной фаз.

[stallker]

Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы.

Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид.

Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора.

[Enderius]

Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы.

Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид.

Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора.

 

Это понятно, что кристаллическая часть будет труднее травиться.. Не можете ли Вы подсказать примерные концентрации и температуру? Требуется серьезно греть? Так понимаю, что в этом случае селен окисляется до SeO^2-₃ или SeO^2-₄? Однако, по той информации что у меня есть, для этих целей используются щелочные травители.. Не подскажите ли какие-либо публикации, не обязательно по селективному травлению, можно просто по хим. свойствам селенида сурьмы? Много всего есть по тройным системам с германием, а вот по бинарным практически ничего... :(

[Enderius]

Еще фишка в том, что на пленке будут никелиевые и хромовые электроды, которые травитель не должен сожрать...

[stallker]

Известковый раствор менее стабилен.

Еще такая фишка, во время травления селен в активном состоянии

и селенистая пленка на электродах может получится во время травления и промывки.