Перейти к публикации
Форум химиков на XuMuK.ru

Селективное травление пленок SbSe


Рекомендованные сообщения

Решение задач, рефераты, курсовые! Онлайн сервис помощи учащимся. Цены в 2-3 раза ниже!

Уважаемые коллеги, сталкивался ли кто с селективным травлением пленок SbSe? Интересует любая информация на эту тему, особенно состав травителя и различия в механизме травления кристаллической и аморфной фаз.

Ссылка на комментарий

Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы.

Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид.

Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора.

Ссылка на комментарий

Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы.

Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид.

Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора.

 

Это понятно, что кристаллическая часть будет труднее травиться.. Не можете ли Вы подсказать примерные концентрации и температуру? Требуется серьезно греть? Так понимаю, что в этом случае селен окисляется до SeO2-3 или SeO2-4? Однако, по той информации что у меня есть, для этих целей используются щелочные травители.. Не подскажите ли какие-либо публикации, не обязательно по селективному травлению, можно просто по хим. свойствам селенида сурьмы? Много всего есть по тройным системам с германием, а вот по бинарным практически ничего... :(

Ссылка на комментарий

Известковый раствор менее стабилен.

Еще такая фишка, во время травления селен в активном состоянии

и селенистая пленка на электродах может получится во время травления и промывки.

Ссылка на комментарий

Создайте аккаунт или войдите в него для комментирования

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать аккаунт

Зарегистрируйтесь для получения аккаунта. Это просто!

Зарегистрировать аккаунт

Войти

Уже зарегистрированы? Войдите здесь.

Войти сейчас
  • Сейчас на странице   0 пользователей

    • Нет пользователей, просматривающих эту страницу.
×
×
  • Создать...
Яндекс.Метрика