Enderius 1 Опубликовано: 26 января 2011 Рассказать Опубликовано: 26 января 2011 Уважаемые коллеги, сталкивался ли кто с селективным травлением пленок SbSe? Интересует любая информация на эту тему, особенно состав травителя и различия в механизме травления кристаллической и аморфной фаз. Цитата Ссылка на сообщение
stallker 7 Опубликовано: 26 января 2011 Рассказать Опубликовано: 26 января 2011 Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы. Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид. Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора. Цитата Ссылка на сообщение
Enderius 1 Опубликовано: 27 января 2011 Автор Рассказать Опубликовано: 27 января 2011 Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы. Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид. Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора. Это понятно, что кристаллическая часть будет труднее травиться.. Не можете ли Вы подсказать примерные концентрации и температуру? Требуется серьезно греть? Так понимаю, что в этом случае селен окисляется до SeO2-3 или SeO2-4? Однако, по той информации что у меня есть, для этих целей используются щелочные травители.. Не подскажите ли какие-либо публикации, не обязательно по селективному травлению, можно просто по хим. свойствам селенида сурьмы? Много всего есть по тройным системам с германием, а вот по бинарным практически ничего... :( Цитата Ссылка на сообщение
Enderius 1 Опубликовано: 27 января 2011 Автор Рассказать Опубликовано: 27 января 2011 Еще фишка в том, что на пленке будут никелиевые и хромовые электроды, которые травитель не должен сожрать... Цитата Ссылка на сообщение
stallker 7 Опубликовано: 27 января 2011 Рассказать Опубликовано: 27 января 2011 Известковый раствор менее стабилен. Еще такая фишка, во время травления селен в активном состоянии и селенистая пленка на электродах может получится во время травления и промывки. Цитата Ссылка на сообщение
Рекомендованные сообщения
Присоединяйтесь к обсуждению
Вы можете опубликовать сообщение сейчас, а зарегистрироваться позже. Если у вас есть аккаунт, войдите в него для написания от своего имени.
Примечание: вашему сообщению потребуется утверждение модератора, прежде чем оно станет доступным.