Перейти к содержанию
Форум химиков на XuMuK.ru

Селективное травление пленок SbSe


Рекомендуемые сообщения

Решение задач, рефераты, курсовые! Онлайн сервис помощи учащимся. Цены в 2-3 раза ниже!

Уважаемые коллеги, сталкивался ли кто с селективным травлением пленок SbSe? Интересует любая информация на эту тему, особенно состав травителя и различия в механизме травления кристаллической и аморфной фаз.

Ссылка на комментарий

Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы.

Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид.

Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора.

Ссылка на комментарий

Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы.

Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид.

Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора.

 

Это понятно, что кристаллическая часть будет труднее травиться.. Не можете ли Вы подсказать примерные концентрации и температуру? Требуется серьезно греть? Так понимаю, что в этом случае селен окисляется до SeO2-3 или SeO2-4? Однако, по той информации что у меня есть, для этих целей используются щелочные травители.. Не подскажите ли какие-либо публикации, не обязательно по селективному травлению, можно просто по хим. свойствам селенида сурьмы? Много всего есть по тройным системам с германием, а вот по бинарным практически ничего... :(

Ссылка на комментарий

Известковый раствор менее стабилен.

Еще такая фишка, во время травления селен в активном состоянии

и селенистая пленка на электродах может получится во время травления и промывки.

Ссылка на комментарий

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти
  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    • Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу
×
×
  • Создать...
Яндекс.Метрика