Enderius Опубликовано 26 Января, 2011 в 11:10 Поделиться Опубликовано 26 Января, 2011 в 11:10 Уважаемые коллеги, сталкивался ли кто с селективным травлением пленок SbSe? Интересует любая информация на эту тему, особенно состав травителя и различия в механизме травления кристаллической и аморфной фаз. Ссылка на комментарий
stallker Опубликовано 26 Января, 2011 в 15:19 Поделиться Опубликовано 26 Января, 2011 в 15:19 Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы. Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид. Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора. Ссылка на комментарий
Enderius Опубликовано 27 Января, 2011 в 07:34 Автор Поделиться Опубликовано 27 Января, 2011 в 07:34 Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы. Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид. Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора. Это понятно, что кристаллическая часть будет труднее травиться.. Не можете ли Вы подсказать примерные концентрации и температуру? Требуется серьезно греть? Так понимаю, что в этом случае селен окисляется до SeO2-3 или SeO2-4? Однако, по той информации что у меня есть, для этих целей используются щелочные травители.. Не подскажите ли какие-либо публикации, не обязательно по селективному травлению, можно просто по хим. свойствам селенида сурьмы? Много всего есть по тройным системам с германием, а вот по бинарным практически ничего... :( Ссылка на комментарий
Enderius Опубликовано 27 Января, 2011 в 07:46 Автор Поделиться Опубликовано 27 Января, 2011 в 07:46 Еще фишка в том, что на пленке будут никелиевые и хромовые электроды, которые травитель не должен сожрать... Ссылка на комментарий
stallker Опубликовано 27 Января, 2011 в 08:25 Поделиться Опубликовано 27 Января, 2011 в 08:25 Известковый раствор менее стабилен. Еще такая фишка, во время травления селен в активном состоянии и селенистая пленка на электродах может получится во время травления и промывки. Ссылка на комментарий
Рекомендуемые сообщения
Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь
Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий
Создать аккаунт
Зарегистрируйте новый аккаунт в нашем сообществе. Это очень просто!
Регистрация нового пользователяВойти
Уже есть аккаунт? Войти в систему.
Войти