Перейти к публикации
Форум химиков на XuMuK.ru
Enderius

Селективное травление пленок SbSe

Рекомендованные сообщения

Уважаемые коллеги, сталкивался ли кто с селективным травлением пленок SbSe? Интересует любая информация на эту тему, особенно состав травителя и различия в механизме травления кристаллической и аморфной фаз.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы.

Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид.

Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Криталлическая, всегда травится трудней, аморфной структукы.

Попробуйте смесью серная с азотной кислоты и хромовый ангидрид.

Скорость травления регулировать температурой и концентрацией травильного раствора.

 

Это понятно, что кристаллическая часть будет труднее травиться.. Не можете ли Вы подсказать примерные концентрации и температуру? Требуется серьезно греть? Так понимаю, что в этом случае селен окисляется до SeO2-3 или SeO2-4? Однако, по той информации что у меня есть, для этих целей используются щелочные травители.. Не подскажите ли какие-либо публикации, не обязательно по селективному травлению, можно просто по хим. свойствам селенида сурьмы? Много всего есть по тройным системам с германием, а вот по бинарным практически ничего... :(

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Еще фишка в том, что на пленке будут никелиевые и хромовые электроды, которые травитель не должен сожрать...

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Известковый раствор менее стабилен.

Еще такая фишка, во время травления селен в активном состоянии

и селенистая пленка на электродах может получится во время травления и промывки.

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Присоединяйтесь к обсуждению

Вы можете опубликовать сообщение сейчас, а зарегистрироваться позже. Если у вас есть аккаунт, войдите в него для написания от своего имени.
Примечание: вашему сообщению потребуется утверждение модератора, прежде чем оно станет доступным.

Гость
Ответить в тему...

×   Вставлено в виде отформатированного текста.   Вставить в виде обычного текста

  Разрешено не более 75 эмодзи.

×   Ваша ссылка была автоматически встроена.   Отобразить как ссылку

×   Ваш предыдущий контент был восстановлен.   Очистить редактор

×   Вы не можете вставить изображения напрямую. Загрузите или вставьте изображения по ссылке.

Загрузка...

  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.

×
×
  • Создать...