один из способов получения кремния состоит в том что трихлорсилан и/или тетрахлорид кремния подвергают востановления при температуре приблизительно 1100 цельсия на подложке с кремния.Моносилан и хлорсиланы крайне нехорошие штуки,работать с ними нужно в противогазе(коробка ДОТ или БКФ)и резиновых перчатках;моно-,ди- и трихлорсиланы крайне огнеопасные жидкости.Дома не стоит их делать(ну это на любителя)