YIG Опубликовано 10 Декабря, 2011 в 16:52 Поделиться Опубликовано 10 Декабря, 2011 в 16:52 Привет! Возникла задача вытравить в пленке ЖИга(Y3Fe5O12) некоторую структуру. На одном оборонном заводе взялись это дело. Однако, процент брака выше 80%. Травят в кипящей ортофосфорной кислоте. Маски используют промышленные, в универе мне такие не достать. Недавно перешли на защиту с помощью напыления металла. Лучше не стало. Теперь подтравливается под маску. Мне кажется, что данную задачу можно решить проще, вроде ЖИГ может травиться в соляной кислоте. А к ней должны быть устойчивые фоторезисты. Можете что нибудь подсказать по этому поводу? Ссылка на комментарий
Рекомендуемые сообщения
Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь
Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий
Создать аккаунт
Зарегистрируйте новый аккаунт в нашем сообществе. Это очень просто!
Регистрация нового пользователяВойти
Уже есть аккаунт? Войти в систему.
Войти