Перейти к содержанию

Травления ЖИГ


YIG

Рекомендуемые сообщения

Решение задач, рефераты, курсовые! Онлайн сервис помощи учащимся. Цены в 2-3 раза ниже!

Привет!

 

Возникла задача вытравить в пленке ЖИга(Y3Fe5O12) некоторую структуру. На одном оборонном заводе взялись это дело. Однако, процент брака выше 80%. Травят в кипящей ортофосфорной кислоте. Маски используют промышленные, в универе мне такие не достать. Недавно перешли на защиту с помощью напыления металла. Лучше не стало. Теперь подтравливается под маску.

Мне кажется, что данную задачу можно решить проще, вроде ЖИГ может травиться в соляной кислоте. А к ней должны быть устойчивые фоторезисты.

 

Можете что нибудь подсказать по этому поводу?

Ссылка на комментарий

Для публикации сообщений создайте учётную запись или авторизуйтесь

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать учетную запись

Зарегистрируйте новую учётную запись в нашем сообществе. Это очень просто!

Регистрация нового пользователя

Войти

Уже есть аккаунт? Войти в систему.

Войти
  • Последние посетители   0 пользователей онлайн

    • Ни одного зарегистрированного пользователя не просматривает данную страницу
×
×
  • Создать...
Яндекс.Метрика