Перейти к публикации
Форум химиков на XuMuK.ru

Травления ЖИГ


YIG

Рекомендованные сообщения

Решение задач, рефераты, курсовые! Онлайн сервис помощи учащимся. Цены в 2-3 раза ниже!

Привет!

 

Возникла задача вытравить в пленке ЖИга(Y3Fe5O12) некоторую структуру. На одном оборонном заводе взялись это дело. Однако, процент брака выше 80%. Травят в кипящей ортофосфорной кислоте. Маски используют промышленные, в универе мне такие не достать. Недавно перешли на защиту с помощью напыления металла. Лучше не стало. Теперь подтравливается под маску.

Мне кажется, что данную задачу можно решить проще, вроде ЖИГ может травиться в соляной кислоте. А к ней должны быть устойчивые фоторезисты.

 

Можете что нибудь подсказать по этому поводу?

Ссылка на комментарий

Создайте аккаунт или войдите в него для комментирования

Вы должны быть пользователем, чтобы оставить комментарий

Создать аккаунт

Зарегистрируйтесь для получения аккаунта. Это просто!

Зарегистрировать аккаунт

Войти

Уже зарегистрированы? Войдите здесь.

Войти сейчас
  • Сейчас на странице   0 пользователей

    • Нет пользователей, просматривающих эту страницу.
×
×
  • Создать...
Яндекс.Метрика