Перейти к публикации
Форум химиков на XuMuK.ru

Архивировано

Эта тема находится в архиве и закрыта для публикации сообщений.

anastas_a

Вакуумная магнетронная напылительная система

Рекомендованные сообщения

Добрый день, товарищи-химики!)
У меня такая проблема...после процесса напыления никеля, слой на подложке получился какой-то "подгорелый". Позже после того, как достали мишень - увидели, что поверхность мишени оказалась подгорелой, где мишень соприкасается с магнетроном.....о чем это может свидетельствовать?

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Никель магнитный материал. Магнетроном напыляется на троечку с минусом, 

разве что это специальный магнетрон для магнитных материалов.. С такими вопросами на чипмейкер.

Мишень не охлаждалась, течь по воде - много версий..

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.

×
×
  • Создать...