Перейти к публикации
Форум химиков на XuMuK.ru
anastas_a

Вакуумная магнетронная напылительная система

Рекомендованные сообщения

Добрый день, товарищи-химики!)
У меня такая проблема...после процесса напыления никеля, слой на подложке получился какой-то "подгорелый". Позже после того, как достали мишень - увидели, что поверхность мишени оказалась подгорелой, где мишень соприкасается с магнетроном.....о чем это может свидетельствовать?

Изменено пользователем anastas_a

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Никель магнитный материал. Магнетроном напыляется на троечку с минусом, 

разве что это специальный магнетрон для магнитных материалов.. С такими вопросами на чипмейкер.

Мишень не охлаждалась, течь по воде - много версий..

Поделиться сообщением


Ссылка на сообщение

Присоединяйтесь к обсуждению

Вы можете опубликовать сообщение сейчас, а зарегистрироваться позже. Если у вас есть аккаунт, войдите в него для написания от своего имени.
Примечание: вашему сообщению потребуется утверждение модератора, прежде чем оно станет доступным.

Гость
Ответить в тему...

×   Вставлено в виде отформатированного текста.   Вставить в виде обычного текста

  Разрешено не более 75 эмодзи.

×   Ваша ссылка была автоматически встроена.   Отобразить как ссылку

×   Ваш предыдущий контент был восстановлен.   Очистить редактор

×   Вы не можете вставить изображения напрямую. Загрузите или вставьте изображения по ссылке.

Загрузка...

  • Сейчас на странице   0 пользователей

    Нет пользователей, просматривающих эту страницу.

×
×
  • Создать...