И ещё Au-ZrO2 распространено. Какой там может быть механизм? Порошка набухали в раствор, который не оседает
в течении всего процесса, типа грязь, и эта грязь попадает в покрытие.
А какие идейки?. Травить будет перпендикулярно поверхности. ( любой) Травление - размерная операция. Величина подтравливания равна глубине рисунка. Чуда не будет.