Постройте график в координатах время-скорость роста - толщина деленная на время выдержки. Но без точки 16 часов - 2,578 мкм.
Тогда Вы четко увидите, что скорость роста пленки в пределах 13-часовой выдержки падает пропорционально квадратному корню времени выдержки по закону
s = 0,8941*t-0,5, где
s -скорость роста пленки, мкм/ч
t - время выдержки, ч.
С точкой 16 часов 2,578 мкм варианта два.
Первый, наиболее вероятный, должно быть 3,578.
Второй - в промежутке между 13 и 16 часами выдержки, в силу каких-то причин, характер процесса меняется и начинается растворение пленки. Более точно оценить время набора пленкой максимальной толщины и начало растворения нет возможности - мало данных.