Самодельная установка вакуумного напыления

[aversun]

Так, магнетрон их  распылит. бомбардировкой ионами или электронами..

Как по мне, если ион или молекула титана выбьется из мишени и полетит к подложке.

По дороге столкнется с молекулой (или атомом не знаю. в каком состоянии там вся эта остаточная атмосфера) кислорода или азота.

Прореагирует и продукт реакции выпадет в осадок.

А почему бы чего то подешевле и активнее не использовать в качестве геттера - алюминий, магний, может кальций?

Нет, так титан не используют, работать так он не будет. Обычно такие геттеры применяют для очистки инертных газов находящийся в мизерных концентрациях, например аргона, К-Ar методе определения возраста, перед подачей на массспектрометр.

А мусор обычно летит прежде всего на объект, из-за которого и создается вакуум. Мне приходится работать с вакуумным постом по крайней мере раз в неделю (напыление углеродом) Всегда ставишь мишени так, что бы возможный мусор с испарителя не попал на мишень, но здесь то это просто, т.к. он падает вертикально под испаритель, а у вас он должен бы падать везде. Подать же напыляемый объект после распыления геттера, даже бариевого, вы не сможете (если у вас нет шлюза), а если он в камере, то распыление геттера недопустимо.

Для этого надо использовать бариевые геттеры.

[МВВ]

Нет, так титан не используют, работать так он не будет. Обычно такие геттеры применяют для очистки инертных газов находящийся в мизерных концентрациях, например аргона, К-Ar методе определения возраста, перед подачей на массспектрометр.

А мусор обычно летит прежде всего на объект, из-за которого и создается вакуум. Мне приходится работать с вакуумным постом по крайней мере раз в неделю (напыление углеродом) Всегда ставишь мишени так, что бы возможный мусор с испарителя не попал на мишень, но здесь то это просто, т.к. он падает вертикально под испаритель, а у вас он должен бы падать везде. Подать же напыляемый объект после распыления геттера, даже бариевого, вы не сможете (если у вас нет шлюза), а если он в камере, то распыление геттера недопустимо.

Для этого надо использовать бариевые геттеры.

Да, сколько там молей этих остаточных газов, что бы всерьез говорить о примесях.

Может, при производстве процессоров для Айфонов это и имеет значение, но для покрытия кузнечика медью, зубной коронки титаном или железяки цинком - думается, что не принципиально.

[aversun]

Да, сколько там молей этих остаточных газов, что бы всерьез говорить о примесях.

Может, при производстве процессоров для Айфонов это и имеет значение, но для покрытия кузнечика медью, зубной коронки титаном или железяки цинком - думается, что не принципиально.

Для покрытия нужна чистая поверхность, иначе покрытие с легкостью облетает. Неоднократно проверенно.

[МВВ]

Для покрытия нужна чистая поверхность, иначе покрытие с легкостью облетает. Неоднократно проверенно.

Я то думал, что это характерно для гальванических покрытий, т.к. там просто ионы медленно движутся электрическим полем и так же неспешно встраиваются на поверхности подложки.

А, тут, когда ионы летят с большой скоростью, кроме межионного притяжения, еще и адгеззия удеживает ионы покрытия.

Особенно. если напыляется на пластик и подобные вязкие подложки.

[mirs]

но для покрытия кузнечика медью, зубной коронки титаном или железяки цинком - думается, что не принципиально.

1. Кузнечика не откачать.

2. При недостаточном вакууме нитрида титана не будет, будет оксид.

3. Цинк в вакууме под запретом. Есть термодиффузионное цинкование, но это совсес другой процесс.

[МВВ]

1. Кузнечика не откачать.

2. При недостаточном вакууме нитрида титана не будет, будет оксид.

3. Цинк в вакууме под запретом. Есть термодиффузионное цинкование, но это совсес другой процесс.

1. Блин, чего же в статье у ТС, есть картинка какого то метализированного насекомого.

Может, его перед напыленим каким то лаком покрыли, что бы потроха не зазовали.

2. Так, если кислорода там отруду не будет ( прокачать перед хоть минимальным вакуумирование азотом) товариантов немного или чистый титан или его нитрид.

К стати, по дегазации в связи с кислородом , возникла другая идея - прокачать камеру чистым кислородом, которые потом загасить чем нибудь активным. Хоть алюминием, хоть цинком.

Возиожно профи химики знают лучшую этим металлам.

Если в камеру пометить что то механически разрушающее верхний слой алюминия, то так постепенно алюминий сожрет весь кислород в камере.

3. Про цинк не совсем понял, если не нужен вакуум при магнетроном напылении цинка, так еще проще.

Не нужно мудрить с вакуумными насосами.

Изменено 23 Ноября, 2017 в 14:49 пользователем МВВ

[Максим0]

1. Кузнечика не откачать.

2. При недостаточном вакууме нитрида титана не будет, будет оксид.

3. Цинк в вакууме под запретом. Есть термодиффузионное цинкование, но это совсес другой процесс.

А я в институте в ВЧ разряде чего только цинком не покрывал... в том числе и из отмытых ацетоном цветов девчёнкам сувениры делал.

Условия процесса таковы: азотная (99,99%) атмосфера в десятки Па, скорость тока - порядка м/с, электроды - цинковые листы  10*20 см припаянные оловом к П-образным медным трубкам (всё металлическое кроме цинка спрятано под пропитанной эпоксидкой стеклотканью).

Блок питания на 100 кГц, 400 В, 1А. "Реактор" - метровая стеклянная трубка диаметром 28 см.

В этих условиях потоком газа перенасыщенного парами цинка металлизировалось всё подряд что только ни ложили в трубку, потом когда трубку разбирали резиновые прокладки очистить от цинка получилось только кислотой.

Такая металлизация работает со многими металлами, но цинковая самая производительная (если не учитывать кадмирование).

[МВВ]

А я в институте в ВЧ разряде чего только цинком не покрывал... в том числе и из отмытых ацетоном цветов девчёнкам сувениры делал.

Условия процесса таковы: азотная (99,99%) атмосфера в десятки Па, скорость тока - порядка м/с, электроды - цинковые листы  10*20 см припаянные оловом к П-образным медным трубкам (всё металлическое кроме цинка спрятано под пропитанной эпоксидкой стеклотканью).

Блок питания на 100 кГц, 400 В, 1А. "Реактор" - метровая стеклянная трубка диаметром 28 см.

В этих условиях потоком газа перенасыщенного парами цинка металлизировалось всё подряд что только ни ложили в трубку, потом когда трубку разбирали резиновые прокладки очистить от цинка получилось только кислотой.

Такая металлизация работает со многими металлами, но цинковая самая производительная (если не учитывать кадмирование).

Очень интересный опыт.Про напыление в ВЧ разряде разряде еще не читал.

 

400Вт на 100кГц не такая уж и большая мощность

  И напряжение небольшое и частота приемлемая.

За счет чего идет распыление-напыление ?

Если есть базовое покрытие в виде цинка, сверху медь несложно положить и гальванически.

Если тонким слоем, то возможно и латунь , аля золото получится.

И долго эти цветы сохраняют форму ?

В ацетоне зачем полоскали ?

[mirs]

Условия процесса таковы: азотная (99,99%) атмосфера в десятки Па, скорость тока - порядка м/с, электроды - цинковые листы  10*20 см припаянные оловом к П-образным медным трубкам (всё металлическое кроме цинка спрятано под пропитанной эпоксидкой стеклотканью).

Блок питания на 100 кГц, 400 В, 1А. "Реактор" - метровая стеклянная трубка диаметром 28 см.

В этих условиях потоком газа перенасыщенного парами цинка металлизировалось всё подряд что только ни ложили в трубку, потом когда трубку разбирали резиновые прокладки очистить от цинка получилось только кислотой.

Такая металлизация работает со многими металлами, но цинковая самая производительная (если не учитывать кадмирование).

Это вариант термодиффузионного цинкования. Кроме цинка шансов мало..разве что хром.

[МВВ]

Это вариант термодиффузионного цинкования. Кроме цинка шансов мало..разве что хром.

Как для меня, хром - вообще , круто.

Если всю эту приблуду засунуть в цилиндр ДВС и отхромировать для износостойкости и снижения трения.

А, нержавейку эта термодиффузия потянет распылять/напытять?

А, с хромом туго, а нержавейки - валом.