Для того, чтобы распылять Al, очень глубокий вакуум не потребуется - порядка 10 Па будет достаточно. Этого можно добиться просто механическим насосом, не применяя какой-либо второй ступени откачки. Обычно кислород улетает быстро, остаточные газы на 90% составляет водород, так что вакуум обычно - восстановительная среда. А титан (пористый) обычно и применяют для поглощения остаточного водорода, а не кислорода.
Другое дело - масляная или безмасляная откачка. Масло в вакууме может помешать напылению некоторых материалов (тогда используют насосы с безмасляной откачкой, напр., турбинные). Но алюминий нормально пылят - в кинескопах поверх люминофорного слоя - как раз слой алюминия.