Самодельная установка вакуумного напыления

[Максим0]

Я то , думал, что подлжка, наоборот должна быть холодной.

Ну, а для лучшей эмиссии , подогреть мишень, емли уж совсем медленно пылиться будет?

А, для хрома - любой рабочий газ сойдет?

Хром активный, с азотом даст хрупкое покрытие... тут аргон нужен.

[МВВ]

Вы лучше у спецов в этом деле спросите. Греть мишень нужно только для формирования нужного качества осаждаемого металла, на эмиссию это не влияет. В сравнении с парами или пучком ионов любая температура твёрдого металла будет низкой.

Так, вопрос, ко всем - кто что знает.

Я, вообще, по образованию радиоэлектронщик.

Еще, немного застал ламповые приборы.

Так там , чем выше температура катода, тем легче элеетродам покинуть электрод.

Тут, правда, надо не электроны, а ионы выбивать.

Но, думаю, принцип один и тот же.

Тем более, что хром не цинк, более тугоплавкий - не потечет.

Лишь бы корпус и магнитная система выдержала.

Хром активный, с азотом даст хрупкое покрытие... тут аргон нужен.

Для пар трения, может это и лучше, если хрупкость будет в паре с твердостью.

Нитрид титана лучше, чем сам титана.

[antabu]

На чипмейкере есть тема.

[МВВ]

На чипмейкере есть тема.

Да, я нашел ее с неделю назад.Там их в общем то несколько.

Там и хорошая переводная статья ( или книга ) , манетроному напылению есть..

Но, хотелось узнать,чем гальванические осадки отличаются от магнетронных.

Если, к примеру, алюминий покрыть микронным слоем манетронного , допустим , никеля - щелочь до него не дотянется?

[mirs]

Если, к примеру, алюминий покрыть микронным слоем манетронного , допустим , никеля - щелочь до него не дотянется?

Дотянется. И никель магнитный материал. Нужен специальный магнетрон для магнитных материалов.

Изменено 16 Ноября, 2017 в 13:04 пользователем mirs

[МВВ]

Дотянется. И никель магнитный материал. Нужен специальный магнетрон для магнитных материалов.

И что что ферромагнетик, еще лучше будет проводить магнитное поле ( или будет его экранировать, как клетка фарадея от электромагнитных волн)?

[mirs]

Вот вам пособиё, А1 Beginner

 http://www.unn.ru/books/met_files/vdovichev.pdf

и не пишите больше глупостев.

Изменено 16 Ноября, 2017 в 19:56 пользователем mirs

[radiodetaleylubitel]

 http://www.unn.ru/books/met_files/vdovichev.pdf

Наиболее распространены плоские подложки в виде диска с толщиной 0.2-0.8 мкм и диаметром 50-100 мм (2”-4”)

 

Похоже, что труд не свободен от очепяток... но все равно интересно.

Изменено 16 Ноября, 2017 в 20:05 пользователем radiodetaleylubitel

[antabu]

В Сети можно найти:

Распыление твердых тел ионной бомбардировкой.Бериш Р.-ред\
Технология тонких пленок(77)Майссел Л.,Глэнга Р.-ред\
CVD-метод.Химическое парофазное осаждение(00)Сыркин В.Г.
Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок(07)Берлин Е.В.и др.
Вакуумно-дуговые покрытия(10)Андреев А.А.и др.
Жаростойкие покрытия,осаждаемые в вакууме(83)Мовчан Б.А.,Малашенко И.С.
Металлизатор-вакуумщик(78)Золотарев М.М.
Металлизация напылением(66)Катц Н.В.и др.
Методы нанесения покрытий(08)Синани И.Л.и др.
Нанесение TiN(88)Сейдман Л.А.
Нанесение защитных покрытий в вакууме(76)Ройх И.Л.
Нанесение неорганических покрытий(04)Бобров Г.В.,Ильин А.А.
Нанесение покрытий напылением(92)Кудинов В.В.,Бобров Г.В.
Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме(91)Костржицкий А.И.
Технология и оборудование вакуумного напыления(92)Никитин М.М.
Физические основы электронной и ионной технологии(84)Аброян И.А.и др.

[bravissimo]

Вы правы. Однако, я не знаю как сделать выпуклое стекло. Поэтому решил просто обойтись толстым плоским. Для начала хочу использовать диски-заглушки из 6 мм органического стекла и 4 мм стали. Если будут с этим проблемы, то можно будет нарезать на гиброабразиве из обычного или даже кварцевого стекла окошки нужной толщины. 

Забудьте про силикатное стекло, черевато. Вам надобно поставить просто достаточно толстое оргстекло, чтоб с запасом. Вполне достаточно ежели не будете его греть. Газить у Вас будет в 90% случаев грязная поверхность вакуумной арматуры, а не плексиглас окна. 

Я то , думал, что подлжка, наоборот должна быть холодной.

Ну, а для лучшей эмиссии , подогреть мишень, емли уж совсем медленно пылиться будет?

А, для хрома - любой рабочий газ сойдет?

 

Подложка весьма  желательно должна быть обезгажена нагревом перед напылением. Или ионным током. Ежели на просто так - адгезия будет весьма условной из-за грязной поверхности подложки.. И да надо бы при напылении охлаждать.

Хм. А как же тогда масло диффузионного насоса не мешает вакууму?

 

Это хорошо бы. Только азот я не уверен что добуду ((. Можно ли азотную ловушку чем-нибудь заменить?

Самый старый\ вариант ловушки - сухой лед в спирте\бензине\ацетоне\ и т.д. Ожлажленную жидкость прогоняете через теплообменник ловушки и этого вполне достаточно. -70град надежно вымораживают пары масла.

Не меньше, чем 10^-4 ,  рекомендуют  3*10^-5  атм

Ежели есть один магнетрон, прилепите и второй и распыляйте там какой-нить геттерный металл, титан тот-же. Можно получить приличный вакуум. Кажется на установке Булат такой насос стоял.

Не помню кто рассказывал что получал вакуум где-то -5 степень на активированном угле охлажденном естественно и с форвакуумом..

Ну хотя бы есть шанс, что они сгорят в атмосфере А вообще, может иметь смысл правильно наладить процесс, так чтобы было не опасно при любом раскладе. 

Знаете, не заморачивайтесь с такими рисками, чесслово. В общем случае диффузанты на металлорганике применяют при диффузиях в ПП подложку сильно разбавленными в токе водорода при атмосферном давлении , который потом на выходе дожигается. Вам понадобится электролитический генератор водорода приличной производительности. И диффузии требуют строгого отслеживания температуры.

Ежели желаете растить пленки-монокристаллы полупроводов озаботьтесь подбором соответствующей монокристаллической подложки требуемой ориентации. Иначе будет нечто непредсказуемое.

КНС потому и возможен что размерность кристаллической решетки кремня и сапфира близки, и то раз на раз не приходится.

Что до сложных полупроводов, реальнее рапылять навески готового полупроводника в том же аргоне или гелии дабы не сохранить стереохимию в осадке.

Относительно опленок металлов. Для хорошей адгезии надобно подбирать подслой под металл. Под медь часто идет хром или сплав РС. 

Мишени перед распылением  надобно готовить, мыть в изопропиле- травить в кислоте. Подложки перед напылением моют-чистят, отжигают на воздухе\ в аргоне(к примеру ситалл-поликор час минимум при 600 град с охлаждением в печи, печь только под эту операцию) дабы улетело все что может улететь. Вода для промежуточной промывки - бидистиллят\деионизованная. Только потом ставят в камеру на пыление. И то брак 50%

Изменено 22 Ноября, 2017 в 18:26 пользователем bravissimo